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ULVAC愛(ài)發(fā)科 通用帶電機(jī)羅茨真空泵 GR90A干式真空泵“Model：GR"是在久經(jīng)考驗(yàn)的“Model：LR?HR"的基礎(chǔ)上，為一般工業(yè)設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的泵。
產(chǎn)品分類(lèi)
ULVAC愛(ài)發(fā)科 通用帶電機(jī)羅茨真空泵 GR90A
ULVAC愛(ài)發(fā)科 通用帶電機(jī)羅茨真空泵 GR90A
可用于高負(fù)載應(yīng)用，例如大氣~真空的重復(fù)抽真空和高壓區(qū)域的連續(xù)運(yùn)行
非常適合需要高通量的載重鎖室（制備室和取出室）的排氣
與通用感應(yīng)電機(jī)兼容
可安裝防爆電機(jī)等特殊電機(jī)（可選）
使用多電壓電機(jī)
用
真空排氣清潔氣體，如空氣和惰性氣體
各種沉積設(shè)備的制備室和取出室的排氣
一般工業(yè)應(yīng)用，如真空干燥、真空氣體置換和真空消泡
真空氣體置換，例如真空絕熱和充氣
| 型 | GR60A 系列 | GR90A 系列 | GR180A 系列 | |||||
| 最大抽速 | 50 赫茲 | m3/h（升/分鐘） | 62(1860) | 112(1030) | 183(3100) | |||
| 60 赫茲 | m3/h（升/分鐘） | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
| 極限壓力 *1 | 帕 | 5.0 | ||||||
| 最大入口壓力 | 氣壓 | |||||||
| 最大排氣口壓力 | 帕 | 1~大氣壓 | ||||||
| 進(jìn)氣口 | VG50 系列 | VG80型 | ||||||
| 排氣口 | 西北 40 | |||||||
| DRP 表面處理 | 〇 | |||||||
| 發(fā)動(dòng)機(jī) | 輸出功率 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 電壓 [V] | 50 赫茲 | 200~240/380~415°C | ||||||
| 60 赫茲 | 200~240/380~460°C | |||||||
| 質(zhì)量 | 公斤 | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷卻方式 | 冷卻水 的一次供應(yīng)壓力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||
| 冷卻水 入口/出口壓差 | 兆帕 | >0.1 | ||||||
| 冷卻水溫度 | °C | 10~30 *2 | ||||||
| 冷卻水流量控制 | 升/分鐘 | >5.0 | ||||||
| 氮?dú)?/td> | 一次供氣壓力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | |||||
| 出口 調(diào)節(jié)壓力 *3 | 兆帕 | 0.05~0.1（運(yùn)轉(zhuǎn)） | ||||||
| 軸 | SLM 系列 | 5.0 *4 | ||||||
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