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ULVAC愛發(fā)科 GR180A 通用帶電機(jī)羅茨真空泵 干式真空泵“Model：GR”是在久經(jīng)考驗的“Model：LR?HR”的基礎(chǔ)上，為一般工業(yè)設(shè)計的結(jié)構(gòu)簡單的泵。

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ULVAC愛發(fā)科 機(jī)械增壓泵 PRC-018A “Model：PRC” 是一種機(jī)械式增壓泵，主要用于需要特別清潔度的半導(dǎo)體和液晶制造工藝。 采用封閉電機(jī)，油不會從軸封中泄漏。 也可以選擇大氣壓驅(qū)動類型作為選項。

ULVAC愛發(fā)科 PRC-012A 機(jī)械增壓泵 “Model：PRC” 是一種機(jī)械式增壓泵，主要用于需要特別清潔度的半導(dǎo)體和液晶制造工藝。 采用封閉電機(jī)，油不會從軸封中泄漏。 也可以選擇大氣壓驅(qū)動類型作為選項。